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线宽和特征尺寸测量
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线宽和特征尺寸测量

产品价格:
电议
产品型号:
可选择
供应商等级:
企业未认证
经营模式:
工厂
企业名称:
北京特博万德科技有限公司
所属地区:
北京市
发布时间:
2014/10/16 19:36:56

010-87700693      13810504825

李先生先生(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)

企业档案

北京特博万德科技有限公司

企业未认证营业执照已上传

经营模式:工厂

所在地:北京市

主营产品:晶圆全检仪、低温真空泵

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COMEF图形处理软件的特点是能容易并准确的测量线宽、特征尺寸和栅格。

 

COMEF测量功能是基于亚像素的灰值处理。除了测量功能,COMEF

 

还可以提供直观的文本文件、数字图像文件和协议文件。

 

像机接口与现有显微镜的使用

 

COMEF 有多种接口用于数字U 2.0像机或者任何种类的模拟CCD像机,

 

因此该软件十分适合去升级现有的显微镜。

 

测量

 

测量是像机像素的1/10。因此取决于像机像素的大小和物镜与像机

 

芯片之间光学放大率。就一个5um像素和10倍放大来说,是50nm。当然,

 

会受衍射等物理因素的影响并依赖于测量物体的数字孔径的物镜分辨率。

 

彻底的解决方案

 

IMM 200显微镜工作在明场入射光。配备了无限修正的高质量物镜5倍、10倍、

 

20倍和50倍。目镜视觉放大结果10倍到50倍、100倍、200倍和500倍。IMM 200

 

配有X/Y平台(200X200mm)冲程。每个位置都可以锁定,然后通过微旋钮

 

精准的定位。真空晶片夹能在真空吸片时90度旋状,此外还还可以使用为旋钮

 

进行角度精准定位。显微镜即可用于视觉检测也可与像机相连。使用像机时,

 

一个TV-tube和不同的TV-adaptions将被使用。

联系方式

北京特博万德科技有限公司

联系人:
李先生先生
手机:
13810504825
传真:
010-87700693
所在地:
北京市
类型:
工厂
地址:
北京市朝阳区四惠桥凌科商务花园406

服务热线

010-87700693

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