- 产品品牌：
- 日立
- 产品型号：
- SU6600
- 类型：
- 光学显微镜
产品名称：配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600
配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600的介绍
型可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。
配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600的特点
1.200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台
二次电子分辨率：1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率：3.5nm@30KV
放大倍率：10~600,000（输出尺寸127x96mm）
电子枪类型：热场发射
探针电率：1pA~200nA
加速电压：0.5~30KV
物镜光阑：自清洁、4孔可动式
束闸：电磁式
样品台：电脑控制的5轴优中心马达样品台
X：0~110mm
Y：0~110mm
Z：4~40mm
T：-5°~+70°
R：360°
样品尺寸：直径150mm x高40mm
探头：二次电子探头
背散射电子探头
