- 产品品牌：
- 日立
- 产品型号：
- SU70
- 类型：
- 光学显微镜
日立热场发射扫描电镜SU70的介绍
采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。
日立热场发射扫描电镜SU70的特点
1.100nA的大探针电流
新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2.通用的分析型样品室
预留了多种接口，可以安装以下附件进行
分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
温台，样品室CCD
3.分析模式(FF模式)
观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4.超高分辨率1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
已被检验的半内透镜技术。
5.超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6.电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察
日立热场发射扫描电镜SU70的技术规格
二次电子图象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
放大倍数
1.低放大倍数模式20-2,000x
2.高放大倍数模式100-800,000x
电子光学
1.电子枪 ZrO/W肖特基电子枪
2.电流 1pA-100nA
3.加速电压0.5-30KV(标准模式)
4.着陆电压0.1-2.0KV(减速模式)
5.透镜系统3级电磁线圈系统
6.物镜光阑4孔光阑,真空外选择和细调
样品台
样品台控制5轴马达控制
移动范围
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -5O-+700
R 360O
样品尺寸直径150mm(标准)
() 直径200mm(可选)
探测器
1.二次电子探测器
2.背散射电子探测器(可选)
3.STEM探测器(可选)
4.法拉第杯(可选)
5.X射线能谱仪(可选)
6.X射线波谱仪(可选)
7.EBSP探测器(可选)
8.阴极荧光探测器(可选)
