- 产品品牌：
- 日立
- 产品型号：
- SU1510
- 类型：
- 电子显微镜
产品名称：日立扫描电子显微镜SU1510
日立扫描电子显微镜SU1510的介绍
主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
日立扫描电子显微镜SU1510的特点
1.仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。
日立扫描电子显微镜SU1510的技术规格
|
项目 |
内容 |
|
二次电子分辨率 |
3.0nm（高真空，30kV） |
|
背散射电子分辨率 |
4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
|
倍率 |
5～300,000倍 |
|
加速電圧 |
0.3～30 kV |
|
样品台 |
X 0～80 mm |
|
样品台控制 |
手动（可选：2轴马达） |
|
载入样品尺寸 |
直径：153 mm |
|
观察范围 |
直径：126 mm（XYR并用） |
|
样品高度 |
60 mm（WD=15 mm） |
|
低真空范围 |
6-270Pa(从菜单设定) |
|
灯丝 |
预对中钨灯丝 |
|
物镜光阑 |
4孔可变光阑 |
|
枪偏压 |
固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 |
|
检测器 |
二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
|
EDX分析位置 |
WD=15,TOA=35° |
|
真空系统 |
分子泵1台，机械泵1台 |
|
安全措施 |
停电，漏电，自动保护 |
