莱因泰可气体质量流量计M2100V
韩国原装高气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用的热传感器和控制电路计算。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
工业，气体混合及分析 ，半导体工业，注气、表面加工行业（PVC,CVD,反应器等） ， 部件泄露检测，产品研究和开发，高压行业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。
优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高（&plun;1%F.S）
l 耐高压（90 公斤）
l 快速响应时间（＜1秒）
l 高重复性（&plun;0.25%F.S)
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规格：
| 型号 | M2100V |
| 流量范围（N2) | 30~100 slpm |
| 响应时间 | ＜2秒 |
| 度 | &plun;1% |
| 重复 | &plun;0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作压力 | ＜ 90 bar |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范围 | 2~100% |
