莱因泰可气体质量流量计M2030A
韩国原装高气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用的热传感器和控制电路计算。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、设备、气相色谱仪等相关行业。
优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高（&plun;1%F.S）
l 耐高压（90 公斤）
l 快速响应时间（＜1秒）
l 高重复性（&plun;0.25%F.S)
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规格：
型号 | M2030A |
流量范围（N2) | 0.01~30 slpm |
响应时间 | ＜2秒 |
度 | &plun;1% |
重复 | &plun;0.25% |
输入输出信号 | 4~20mA |
供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
工作压力 | ＜ 90 bar |
工作温度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范围 | 2~100% |
