四质谱仪 PriaPlusTM新的质谱仪
1.设计紧凑
PriaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智能化操作的结合是 PriaPlusTM 四质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围，检测器、离子源和界面接口等，该四质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PriaPlusTM 四质谱仪是从质量，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的方案。
3.检测速度快，灵敏度高
PriaPlusTM四质谱仪可以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测限1*10-14 mbar 情况下给出的检测结果。在真空系统中，配合的法拉, 第和电子检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PriaPlusTM 四质谱仪就可以作为一个的全压监控器使用。
4.智能化的软件
Quadera 软件不操作简单，它还提供了捕获和观察测试数据以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的界面接口，例如以太网，数字式和模拟式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点鼠标就可以激活预设的功能。
PriaPlusTM四质谱仪产品优势：
1. 模块化设计提供了产品的适应性
2. 结构紧凑，性能出众
3. 多种界面接口，系统集成简单
4. 可通过以太网网络化
5. 测试过程快速稳定，解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计的性
8. 的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. Quadera®软件操作直观
PriaPlusTM四质谱仪应用领域：
PriaPlusTM四质谱仪适合于检漏，残气分析以及综合定量分析：
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
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PriaPlusTM 四质谱仪产品规格：
PriaPlusTM型号 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | |
质量数范围 | amu | 1-100 | 1-200 | 1-300 |
四杆直径／长度 | mm | 6/100 | 6/100 | 6/100 |
检测限，小 | mbar | 1.10-12 | 2.10-12 | 4.10-12 |
对Ar的灵敏度 | A/mbar | 1.10-3 | 6.10-4 | 3.10-4 |
工作压力， | mbar | 1.10-4 | 1.10-4 | 1.10-4 |
对临近质量数的影响 | ppm | <10 | <20 | <50 |
工作温度／分析器 | 。C | 150 | 150 | 150 |
连接法兰 |
| DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
重量 | kg | 2.4 | 2.4 | 2.4 |
