配置如下：
预处理腔：衬底旋转、倾斜（3D）；真空度10-8 Torr
蒸发镀膜腔：电子6-15KW；
可加载4英寸衬底；衬底旋转、倾斜，和重复性0.01°（可升级）
真空度10-10 Torr或10-11 Torr
频率分辨率10-4 Hz或更高；速率分辨率10-3 nm/s；厚度分辨率10-2 nm
氧化腔体：静态/动态氧化（氧气、氮气等）；
真空度<10-8 Torr
全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。
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