上海续波光电技术有限公司
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圆柱形主腔体：电抛光不锈钢
低温泵+干泵，真空度< 4×10 -8 Torr。
三个6’’ DC磁控靶源，可达8英寸；
分别配备挡板，无交叉污染。
RF加载到DC靶源可选，可用DC/RF。
氩气和氮气气路可用
4’’衬底加热：750℃, 均匀性5℃内；单色光学高温计
样品台冷却：水冷
石英晶振监测（DC/RF模式下均可）
衬底RF刻蚀及偏压（13.56MHz，气冷）
LOAD LOCK （带自动传动手臂）
分子泵+干泵，真空度< 2×10-7 Torr
全自动传动衬底
控制单元：全自动电脑控制，半自动和手动模式可选；远程维护可用。
