仪器简介：
主要特点：
• 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪
• 先进的光学和探测技术，包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可实现信息选择和图像优化
• 低至 50 V 的射束着陆能量
• 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速
• 真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
• 高达 200 nA 的高真空或低真空分析
• 整合式 16 位扫描/制图引擎
• 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统
• 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)
Nova 系列扫描电子显微镜 (SEM) 具有低真空功能，是满足研究实验室、半导体和数据存储实验室和制造工厂、生物和生命科学实验室及其他行业各种成像、分析和样品制备需求的理想之选。 Nova 系统包含 EBIC、冷冻样品台、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。
技术参数：
| 分辨率 高真空 | 30 kV (STEM) 15 kV (TLD) 1 kV (TLD、无 BD) 100 V (DBS) 15 kV, 5 nA | 0.8 nm 1.0 nm 1.4 nm 3.5 nm 3.0 nm |
| 分辨率 低真空 | 3 kV 和 30 Pa (Helix) 10 kV | 1.8 nm 1.5 nm |
| 射束电流 | 高达 200 nA | |
| 着陆电压范围 | 50 V - 30 kV | |
| 样品台 | X x Y x Z (mm) | 110 x 110 x 25 150 x 150 x 10 |
| 机室 | 大试件室 | |
| 探测 | 透镜内 透镜下、大角度探测器 | TLD SE 和 BSE 高灵敏度 DBS (SE/BSE) |
主要特点：
• 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪
• 先进的光学和探测技术，包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可实现信息选择和图像优化
• 低至 50 V 的射束着陆能量
• 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速
• 真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
• 高达 200 nA 的高真空或低真空分析
• 整合式 16 位扫描/制图引擎
• 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统
• 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)
