产品介绍 技术参数 资料下载 产品特点: 一代MEMS 传感器芯片技术 耐灰尘、水汽和气流冲击 数字技术提高传感器互换性、一致性 可精确测量极小流量 经过完全校准和温度补偿 线性或开方特性输出;模拟或数字输出 工作原理: 芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征塞贝克效应。请参看左图:加热电阻两侧的等温线。当流体静止时,等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时,等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感 器可直接测出流体质量流量。 应用领域: 医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等 暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等 工业过程控制:燃烧器控制 ...
产品介绍 技术参数 资料下载 产品特点: 一代MEMS传感器芯片技术 无漂移,无滞后 精度高,响应速度快,重复性好 低功耗(使用脉冲激发电流) 可精确测量极小流量 经过完全校准和温度补偿 线性或开方特性输出;模拟或数字输出 工作原理: 芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征塞贝克效应。请参看左图:加热电阻两侧的等温线。当流体静止时,等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时,等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可直接测出流体质量流量。 应用领域: 医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等 暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等 工业过程控制:燃烧器控制 空...