• 产品特点：
  一代MEMS传感器芯片技术
  无漂移，无滞后
  精度高，响应速度快，重复性好
  低功耗（使用脉冲激发电流）
  可测量极小流量
  经过完全校准和温度补偿
  线性或开方特性输出；模拟或数字输出
   
  工作原理:
  　芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征塞贝克效应。请参看左图：加热电阻两侧的等温线。当流体静止时，等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时，等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可直接测出流体质量流量。

   

  应用领域：
  医用设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
  暖通空调：变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等
  工业过程控制：燃烧器控制
  空气和环境保护
  便携式仪器

• 如无特殊说明，以下参数是在环境温度0℃、湿度40% - 60%、大气压101kPa、电源电压DC 10.00V条件下获得。

  型号	F1012-20			F1012-100			F1012-200			F1012-1000			F1012-2000			单位
  	最小	典型值		最小	典型值		最小	典型值		最小	典型值		最小	典型值
  测量范围	0		20	0		100	0		200	0		1000	0		2000	sccm
  满量程输出	4.95	5.00	5.05	4.95	5.00	5.05	4.95	5.00	5.05	4.95	5.00	5.05	4.95	5.00	5.05	V
  零点输出	0.96	1.00	1.04	0.96	1.00	1.04	0.96	1.00	1.04	0.96	1.00	1.04	0.96	1.00	1.04	V
  建议负载	20	50	∞	20	50	∞	20	50	∞	20	50	∞	20	50	∞	KΩ
  电源电压	7.0	10.0	15.0	7.0	10.0	15.0	7.0	10.0	15.0	7.0	10.0	15.0	7.0	10.0	15.0	V
  电源电流	15	25	30	15	25	30	15	25	30	15	25	30	15	25	30	mA
  精度		1.5	2.5		1.5	2.5		1.5	2.5		1.5	2.5		1.5	2.5	%FS
  重复性		0.3	0.5		0.3	0.5		0.3	0.5		0.3	0.5		0.3	0.5	%FS
  年漂移①		0.1	0.5		0.1	0.5		0.1	0.5		0.1	0.5		0.1	0.5	%FS
  分辨率		0.03			0.12			0.2			1.5			3.0		sccm
  共模耐压			250			250			250			250			250	kPa
  反应时间	5	10	15	5	10	15	5	10	15	5	10	15	5	10	15	ms
  工作温度②	-25		65	-25		65	-25		65	-25		65	-25		65	℃
  储存温度	-40		90	-40		90	-40		90	-40		90	-40		90	℃

  ①测试条件为室温、常压、普通清洁空气。

  ②温度补偿范围为0-50℃。

• dzsc/19/3778/19377820.gifF1012.pdf

NO-A1 一氧化氮传感器 NO2-D4 二氧化氮传感器 NO2-B1 二氧化氮气体传感器 NO2-AE 二氧化氮传感器 NO2-A1 二氧化氮传感器 IRCH-A1 红外甲烷（CH4）传感器 H2S-D4 硫化氢传感器 H2S-D1 硫化氢传感器 H2S-BH 硫化氢气体传感器 H2S-BE 硫化氢传感器 H2S-B1 硫化氢传感器 H2S-AH 硫化氢传感器 H2S-AE 硫化氢传感器 H2S-A1 硫化氢传感器 CO-DF 一氧化碳传感器 CO-D4 一氧化碳传感器 CO-CX 一氧化碳气体传感器 CO-CF 一氧化碳气体传感器 CO-CE 一氧化碳气体传感器 CO-AX 一氧化碳传感器 CO-AF 一氧化碳传感器 CO-AE 一氧化碳气体传感器 TGS825 硫化氢（H2S）传感器 TGS826 氨气（NH3）传感器 TGS830 卤素气体传感器 TGS831 卤素传感器 TGS832 R-134a卤素气体传感器 CL2-D4 电化学式氯气传感器 IRC-A1 红外二氧化碳CO2传感器 CL2-B1 电化学式氯气传感器 CL2-A1 电化学式氯气传感器 CH-D3 催化燃烧式气体传感器 SE3455/5455 红外发射二极管 SE3470/5470 红外发射二极管 SEP8505/8506 红外发射二极管 SDP8405/8406 光电晶体（接收管） SD3443 光电晶体（接收管） SD2440 光电晶体（接收管） SD1440 光电晶体（接收管） SD5600/5610 光电斯密特接收器 SDP8600 光电斯密特接收器 HOA0901/HLC2705 编码器传感器 HLC1395/HOA0149/1397/1405 反射式光电套件 HOA1180/2498 反射式光电套件 HOA0890/0880/0872/0301/0306 槽型红外光电传感器 HOA6480 条形码传感器 FOP-125 光纤压力传感器 FOP-M260 光纤压力传感器 FOP-M260 光纤压力传感器 FOT-HERO 光纤温度传感器 TPT-32 光纤温度传感器 FOT-M 光纤温度传感器 FOT-L 光纤温度传感器 FOP-MH 光纤压力传感器 FOP-MIV 光纤压力传感器 FOP-MSL 侧视用光纤压力传感器 FOP-MS 侧视用光纤压力传感器 FOP-MA 光纤压力传感器 FOP-C 光纤压力传感器 FOP-M 光纤压力传感器 SFO-W 光纤应变传感器 EFO 埋入式光纤应变传感器 FOS-N 光纤应变传感器 FOD 光纤位移传感器 FRI 光纤折射率传感器 FTI-OEM-STD 单通道OEM信号调理器 FTI-10 单通道信号调理器 GA100 PC板封装式压力传感器 ASDX DO 数字式压力传感器 FC21&22 称重传感器 AP681/AP683 陶瓷压力传感器 MS5535 潜水设备用压力传感器 MS5540C 超小体积数字气压计用压力传感器 MS5561C 压力传感器 MS5536 医疗用压力传感器 MS5534 高度计用压力传感器 MS54XX 模拟量输出压力传感器 MSP300 系列压力变送器 M3431 压力变送器 MSP600 不锈钢压力变送器 MSP400 不锈钢压力变送器 HTW2700 流量传感器 AWM720P1 流量传感器 AWM5000 流量传感器 AWM3000 流量传感器 AWM2000 流量传感器 AWM43600 流量传感 HMC1052L Honeywell二轴磁阻传感器 HMC1052 低功耗二维磁阻芯片 HMC1022 一/二维磁阻芯片 HAAM-313B 小型三轴加速度传感器 GP2Y1010AU 灰尘传感器 DSM501 灰尘/粉尘传感器 SS443A 开关型霍尔位置传感器 HB100 微波移动传感器模块 CSNE151-100 电流传感器