供应ZLDS/N-100激光定位 高精度激光位移传感器
| 价 格： | 1.00 | |
| 型号/规格： | ZLDS/N-100 | |
| 品牌/商标： | 英国真尚有 |
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器，具有100微米的量程和15纳米的分辨率。激光定位传感器 的起始测量距离是3mm，对于被测体有较宽的适用范围，比如金属，半导体和玻璃。
激光定位传感器 可以很容易与现有设计相接合，而且具有较大的基准距，激光定位传感器 可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量，振动测量，表面轮廓测量，ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
激光定位传感器应用领域：
应用于光盘、硬盘的在线检测，还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
激光定位传感器主要特点：
高分辨率，可替代电容式传感器；
对电磁场不敏感，可用于电机等强磁场测振；
宽频带，可测高频振动体；
对被测体表面要求低，反射率4～100%均可用；
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技术参数 |
ZLDS/N-100 |
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量程μm |
100 |
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分辨率nm |
15 |
|
线性度μm |
±5 |
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重复性nm |
±75 |
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信号接收范围μm |
±400 |
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带宽KHz |
100 |
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允许表面反射度% |
4～100 |
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传感器探头基准距mm |
3.0 |
|
垂直容忍度 |
±0.1° |
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供电 |
±12VDC @80mA |
|
传感器体长mm |
58.7 |
|
测量点直径μm |
100 |
|
控制器尺寸mm |
98x32x13 |
|
电缆长度mm |
460 |
◆技术规格可按客户要求定制。
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
NM2100是由纳米传感器，高电压放大器和控制电子元件结合作为一个单一通道的独立模块，供电电压有±15V，130V和-30DV电源。
使用该控制器可提供压电转换器的闭环位置控制，X-Y平台，镜子转向机制等应用。另外，它也可应用于开环控制作为压电控制器和纳米传感器。
电子控制器允许用户优化NM2100闭环响应。闭环控制比开环控制在稳定性和线性度上面有了巨大的提高。
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应用领域 |
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◆ |
磁盘驱动器磁头测试； |
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◆ |
膜/晶圆夹头对齐； |
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◆ |
扫描探针显微技术； |
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◆ |
光腔调整； |
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|
◆ |
干涉测量； |
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型号 |
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|
2100 -标准 |
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|
主要特点 |
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◆ |
亚纳米的分辨率； |
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◆ |
线性度可达0.02%； |
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◆ |
测量带宽可调（50HZ，500Hz或5kHz）； |
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|
◆ |
放大器增益可调（在不必使用满量程的情况下）； |
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|
◆ |
可选择长（“L”）或短（“-S”）测量量程（2pF或10pF电容）； |
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参数 |
值 |
单位 |
备注 |
|
静态参数 |
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|
尺寸 |
218x77x34 |
mm |
|
|
供电电压 |
±15±1@120mA |
VDC |
|
|
±120~+130@30mA |
VDC |
|
|
|
-32~-27@30mA |
VDC |
① |
|
|
传感器输出 |
-5~+5 |
V |
② |
|
模拟输入范围 |
-10~+10 |
V |
|
|
数字输入D/A分辨率 |
14 |
Bits |
|
|
纳米传感器动态参数 |
|
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|
比例因子 |
0.1~0.01 |
GV-1 |
③ |
|
噪音水平(-S) |
＜0.3 |
ppmHz-1/2rms |
④ |
|
噪音水平(-L) |
＜0.15 |
ppmHz-1/2rms |
④ |
|
热漂移 |
5 |
ppmK-1Typ |
④ |
|
预热时间 |
10 |
分钟 |
|
|
预热漂移 |
80 |
ppm |
④ |
|
聚苯乙烯扰 |
10 |
ppmV-1 |
④ |
|
线性度 |
＜0.2 |
% |
⑤ |
|
带宽 |
50,500,5000±10% |
Hz |
⑥ |
|
高压放大器的动态参数(典型值) |
|
||
|
输出电压(2100) |
0~+120 |
V |
|
|
输出电压(2100-20) |
-20~+120 |
V |
|
|
带宽 |
5 |
KHz |
⑦ |
|
模拟输入增益 |
6 |
V/V |
⑧ |
|
数字输入增益 |
7.3 |
mV/bit |
⑧ |
|
噪音 |
0.2 |
mVms |
⑨ |
|
电流 |
50 |
mA |
|
注意：
①、 负电源，仅限于2100-20型号中。
②、 量程可调在内降低性能的情况下。
③、 G就是距离的意思，比例因子是通过侧面面板的选择开关来调整。
④、 PPM是指每百万分之一距离变化。
⑤、 线性误差取决于传感器安装精度0.02%的线性误差是可以实现的。请联系真尚有公司洽谈详情。
⑥、 带宽是通过侧面面板的选择开关来调整。
⑦、 典型的，取决于执行机构。
⑧、 只限于开环控制。
⑨、 一般情况。
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