| 大功率半自动探针台 | ||||
| 型号 | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | |
| 重量 | 180KG | 250KG | 380KG | |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
| Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch |
| X-Y轴行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | |
| X-Y轴移动解析度 | 0.04um/0.1um | |||
| X-Y轴重复定位 | ±1um | |||
| 移动速度 | ≥ 50 mm/sec | |||
| Z轴行程 | 10mm | |||
| Z轴移动解析度 | 0.1um | |||
| Z轴重复定位 | ±1um | |||
| Theta角度行程 | ±15° | |||
| Theta角度解析度 | 0.0003° | |||
| 光栅尺 | 带光栅尺 | |||
| 样品固定方式 | 多孔真空吸附，分区控制 | |||
| 切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||
| 结构 | 同轴高压设计，镀金，电学悬空，可作为背电使用 | |||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，多可放置8个针座 | O型平台，多可放置10个针座 | O型平台，多可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降1um | |||
| 控制方式 | 手动控制盒（可选择带操纵杆） | |||
| 软件控制 | ||||
| 软件功能 | wafer map的编辑 | |||
| 仪器的接入 | ||||
| 数据的采集和图像化显示 | ||||
| 数据的分析 | ||||
| 差异数据的标定Ink mark | ||||
| 自定义Bin分 | ||||
| 自动测试 | ||||
| 通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||||
| 大功率规格 | 配置 | 大功率kelvin样品台 | ||
| 大功率夹具线缆 | ||||
| mult-pin 分流探针 | ||||
| 大功率保护模块（针座用） | ||||
| 保护红外光幕，人员误进入工作区，触发时interlock互锁 | ||||
| 大功率仪器连接模块 | ||||
| 测试电压 | 10KV | |||
| 测试电流 | 500A（脉冲） | |||
| 光学特性 | 显微镜行程 | 2*2inch | ||
| 显微镜行程 | 1um | |||
| 放大倍数 | 20-4000X | |||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 点针规格 | 点针 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 漏电 | 10pA/100fA | |||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 | |||
| 温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 温控 | 温度分辨率 ： 0.01°C | |||
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | |||
| 控温速率 | ±0.1°C /小时 | |||
| 传感器 | Pt100 | |||
| 制冷方式 | 液氮制冷 | |||
| 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | |||
| 可选附件 | chuck快速拉出装置 | |||
| 显微镜倾仰装置 | ||||
| 激光 | ||||
| 探针卡夹具 | ||||
| 光强/波长测试接口部件 | ||||
| 加热台 | ||||
| 高低温样品台（-80~200℃） | ||||
| 震桌 | ||||
| 射频测试 | ||||
| PCB板夹具 | ||||
| 液晶热点侦测套装 | ||||
| 屏蔽箱 | ||||
| 卡盘镀金 | ||||
| 运用方向 | 晶圆测试，功率器件测试 | |||
| 特点： | ||||
| SiC/GaN晶圆测试 | 的测试 | |||
| 大功率晶圆测试 | 便捷的仪器接入 | |||
| （-60~200℃）高低温Chuck | 半自动测试 | |||
| 20~4000X光学显微放大 | 可升级全自动测试 | |||
| 功能丰富的测试软件 | 可升级射频测试 |
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