| 型号 | Flex-85 |
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| 外形 | 3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 ) |
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| 重量 | 7500KG左右 |
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| 电力需求 | 380V，50Hz, hase, approx. 50A Max |
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| 能力 | 可样品尺寸 | 3~85寸 |
| 可范围 | 显示区内任何位置 |
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| 时间 | 120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel) |
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| 适用产品类型 | Cell段产品(OLED面板，IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板)，模组段产品(已贴偏光片，带TP模组) |
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| 遮光性 | 修补颜色在模组背光下不可见 |
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| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 |
| X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm |
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| 移动 | 0.1um |
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| X-Y运动速度 | 0~200mm/s |
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| Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 |
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| 定位 | AOI坐标自动定位 |
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| 光学特性 | 光路系统倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
| 物镜切换速度 | 0.2~0.7s |
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| 聚焦 | 激光自动聚焦 |
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| 光学分辨率 | 0.7um |
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| 相机 | 200W/500W像素工业相机 |
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| 激光特性 | 激光系统 | 激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object，532nm) |
| 能量调节 | 0-1000 steps |
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| 0-100% |
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| 激光波长 | 1064nm，532nm，355nm |
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| 脉宽 | 500fs |
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| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object |
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| 1.0~3.0um @50X object |
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| 激光寿命 | ＞10年，维护间隔＞6,000小时 |
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| 扫描面能量均匀性 | 5% IR |
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| 工作模式 | Scan扫描式 |
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| 扫描形状 | 可任意定义形状 |
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| 工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 |
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| 控制 | 工作模式 | 自动，实现数据的自动导入和输出，联机通讯 |
| 手动或者半自动 |
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| 上下片 | 机械手或者流水线 |
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| CIM系统 | 有 |
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| 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
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| 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G显卡，DVD-ROM |
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| 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 |
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| 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 |
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| 紧急开关EMO |
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| 限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁 |
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| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) |
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| 应用 | TFT-LCD Panel亮点的，OLED Panel亮点的 |
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