温控规格: | 控温范围 | 4K-500K | | 控温 | 0.001K | | 温度稳定性 | 4 K + - 0.1 K | | 77 K + - 0.1 K | | 373 K + - 0.08 K | | 473 K + - 0.1 K | | 823 K + - 0.2 K(可选) | | 973 K + - 1.0K(可选) | | 常温到8K冷却时间: | 1小时40分钟 | | 8K到常温升温时间: | 1小时30分钟 | | 从常温开始的升温时间 | 473K 823K 973K | | (4 chuck，单位分：秒) | 25:00 55:00 70:00 | | 电源 | 直流 | | 材质 | SS304 | | 功率(4chuck) | 50/100W |
机械规格 | 针座行程 | | | X轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | | Y轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | | Z轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | | 移动 | | | X轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | Y轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | Z轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | 探针可旋转角度(应用于射频测试) | +-5 度 | | |
光学部件规格| 显微镜X-Y轴方向行程 | 2"*2" | | 可以选择4"*4" | | 总共放大倍率 | 240X | | 可以选择更率 | | 真空腔观察窗口 | 4 inch | | 外部石英材质99%穿过率 | | 内部吸收可见光通过 | | 光源 | 150W可连续调节双光纤导引 |
可选附件震桌方形chuck分子泵组射频部件Chuck可外部移动装置客户定制。 |
