SEMISHARE LCVD系列激光系统
1. CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,断线,以减少线缺陷,进而良率。 2. 连线效果 成膜规格: 材质:Cr,Mo,W,Al 小线宽:2 micron
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SEMISHARE LCVD系列激光系统
1. CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,断线,以减少线缺陷,进而良率。 2. 连线效果 成膜规格: 材质:Cr,Mo,W,Al 小线宽:2 micron