参数
型号SURFCOM 130A
测量范围
X 轴（横向） 50 mm
Z 轴（纵向） 800μm（量程/分辨率：800μm/0.012μm、80μm/0.001μm、8μm/0.0001μm）
直线度：0.3 μm/50 mm
分析项目
对应标准对应JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CMO标准
参数：Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, RΔq, Rλa, Rλq, TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk,
Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc, H, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, , SR, SAR
评价曲线：断面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、
DIN4776曲线、粗糙度Motif曲线、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线
特性曲线负荷曲线、振幅分布曲线、功率曲线图
倾斜补偿方法:直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、
样条补偿（直线补偿、R面补偿及两端补偿可在任意范围进行补偿）
倍率
纵向倍率（Z 轴） 50 、100 、200 、500 、1 k、2 k 、5 k 、10 k、20 k 、50 k 、100 k 自动
横向倍率（X 轴） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 自动
滤波器种类:标准型滤波器（2RC）、相位补偿型滤波器（2RC）、相位补偿滤波器（高斯）
测量速度: 0.15、0.3 、0.6 、1.5 、3 mm/s（ 5速）
传感器针尖半径：2μm，材质：金刚石，测量力：0.75mN
卓越的功能
AI 功能搭载新手也易于理解的AI功能
段差分析功能适合半导体部件的膜厚及面积测量
PC 卡可输出文本文件并将数据提供给计算机。
标准附件标准片（E-MC-S2）、记录纸（E-CH-S21A）、手写笔（E-MA-S54A）、使用说明书、支持软件
电源AC100 V?240 V ±10 %
设置尺寸（W×D×H) 700 mm×300 mm×150 mm
质量8 kg
