石墨舟装片冷却一体机
主要特点
① 能够与PECVD石墨舟承载车准确定位；
② 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固；
③ 采用GK系列空气过滤器；
④ 净化风机噪音小于50dB；
⑤ 工作区域内所工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;
冷却功能
1. 能准确的使石墨舟承载装片定位。
2. 经过滤的洁净空气有送风机分散吹向石墨舟，石墨舟快速冷却。
技术要求：
1. 整个冷却房采用不锈钢制作，整个设备坚固。
2. 进入吹风的空气须经中效过滤网过滤。
3. 吹风机两台，左右各一台，风量1000m3/h。
4. 顶部装有吸风罩和手动调节阀，可调节风量和风速。
5. 为节电效果，须安装自控装置，当小车进入冷却房后自动启动，冷却到规定时间或小车离开冷却房后自动停止。
6. 为被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。
7. 净化风机噪音小于50dB；每个部位吹到。
8. 光电感应自动吹风，微电脑控制。
