主要产品系列：一维直驱式、一维放大式、一维Z向式、一维小体积式、一维中空式、一维L式物镜台、一维U式物镜台、二维集成式、二维模块式、三维集成式、三维模块式、三维并联式、六维并联式。
纳米级精密定位工作台以压电陶瓷致动器为驱动元件，通过柔性铰链机构进行无间隙的微位移传动，运动范围在几十微米到几百微米，运动分辨率和重复定位在纳米级。主要应用于精密进给系统、精密位移补偿、精微操作、MEMS技术、生物工程、细胞操作、微刻蚀、扫描隧道显微镜、光学调整、电化学加工等领域。
主要特点：
采用压电陶瓷驱动；
纳米级位移分辨率；
重复定位高；
优良的频率响应特性；
采用计算机有限元分析等现代设计动结构；
可内置电阻应变片式微位移传感器，方便实现闭环控制；
机体材料可选择铝合金、Invar合金等，适用于不同的应用场合；
采用电火花、线切割等加工工艺，以严格加工；
采用的表面处理工艺，了适应不同工作环境的能力；
运动自由度从一维到六维，行程10~400微米，形成多系列产品。
苏州迈客荣自动化技术有限公司
免企业未认证证营业执照已上传
扫一扫
进入手机店铺
