产品型号
SMART(1200/780) SMART(1200/1000)
SMART(1200/780) SMART(1200/1000)
SMART(2400/780) SMART(2400/1000)
技术参数
箱体材质 | 304不锈钢，拉丝处理 |
DN40-KF备用法兰接口 | 1 |
整体泄漏率 | ＜0.05vol%/h |
前窗面板 | 钢化玻璃（玻璃选配） |
手套 | Φ220，丁基橡胶材质，0.4mm厚 |
照明系统 | LED照明 |
搁物架 | 固定搁物架 |
微型过渡舱 | Φ150*400mm |
大过渡舱尺寸 | Φ390*600mm |
小仓抽充 | 手动 |
大仓抽充 | 手动 |
清洗 | 手动 |
小仓加热（室温～200℃） | 备选 |
大仓加热（室温～200℃） | 备选 |
气体净化体统类型 | 单 气体净化柱 |
气体净化体统型号 | EP1100/EP1200 |
可得水氧含量 | 水＜1ppm，氧＜1ppm |
水分析仪 | EM-MT100 |
氧分析仪 | EM-OT100 |
真空泵 | EDWARDS,RV12 |
油雾过滤器和回油装置 | 备选 |
再生功能 | 自动再生 |
真空角阀 | KF40（国产） |
循环风量 | 60m3/h，定速 |
风机控制 | EM-BL60 |
电源要求 | 220V |
主控制器 | Siemens PLC（S7-200） |
触摸屏 | EM-TS7（7寸) |
箱体压力控制 | ±15ar(国产） |
系统主体管路 | 40管路 |
内置式冷却装置集成 | 备选 |
高温炉（Max 1200℃） | 备选 |
Spin Coater 集成 | 备选 |
注： EMINEX将不定期的对设备的外观和功能进行升级，具体信息请与售后工作人员联系
