一、技术参数
行程范围：X轴------800 mm
Y轴------1000 mm
Z轴------600 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿同步带+预载荷高空气轴承
长度测量系统：开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m
温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸：2.0m X 1.5 m X 2.7 m
机台承重：1000 kg
整机重量：2000kg
探针测量系统：
1．控制软件：SEREIN DMIS V2.0
2．操作方式：计算机自动控制＋微电脑操纵盒
3．测量不确定度（E）：（3.0+L/300）
二、机械特点
1． 整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著了系统的运动性能，了测量及稳定性。
2． 三轴导轨均采用天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，测量过程中良好的温度稳定性及刚性。
3． 三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨受磨损。
4． 长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而设备的稳定性。
5． 控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE 高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。
思瑞测量技术（深圳）有限公司
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