移動方向 X軸1方向
移動量 &plun;25mm
ステージ面 125mm×160mm
使用モータ PK545W相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動HV 真直度(水平?垂直)0.0008mm
移動 ヨーイング?ピッチング6sec
位置決め 0.003mm
繰り返し &plun;0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.05sec/N?cm、ピッチ剛性 0.05sec/N?cm、ロール剛性 0.03sec/N?cm
耐荷重 392N(40kgf)
質量 8.2kg
速度 16mm/s(8,000pps時)
主要材質/表面処理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗装(ベース)
原点センサ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3
スケール型式 GSI製マーキュリー(ガラススケール、ケーブル長1m)