移動方向 Z軸1方向
移動量 &plun;15mm
ステージ面 90mm×100mm
使用モータ PK545相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動HV 真直度(水平?垂直)0.0007mm
移動 ヨーイング?ピッチング4sec
位置決め 0.002mm
繰り返し &plun;0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.1sec/N?cm、ピッチ剛性 0.15sec/N?cm、ロール剛性 0.1sec/N?cm
耐荷重 98N(10kgf)
質量 5.5kg
速度 10mm/s(5,000pps時)
主要材質/表面処理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗装(ベース、ブラケット)
原点センサ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3