移動方向 XY軸2方向
移動量 &plun;12.5mm
ステージ面 60mm×60mm
使用モータ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移動HV 真直度(水平?垂直)0.002mm
移動 ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め 0.01mm
繰り返し &plun;0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運動の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.2sec/N?cm、ピッチ剛性 0.2sec/N?cm、ロール剛性 0.2sec/N?cm
耐荷重 39.2N(4kgf)
質量 1.0kg
速度 16mm/s(8,000pps時)
主要材質/表面処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ