真空镀膜电源

　　真空镀膜电源
　　成都市新都道和电工研究所研发的DHEP系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用：对被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以地抑制工件表面打火，明显镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。DHEP系列偏压电源是传统直流偏压电源的更新换代产品。
　　
　　主要特点
　　1.采用的开关电源技术，具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对干扰小等优点。DHEP系列偏压电源在和镀膜工艺的稳定性上显示出明显的优势。
　　2.具备自动稳压功能，可在电压和负载波动情况下，电源、稳定地工作，充分镀膜工艺的重复性。
　　3.针对实际工作时存在的频繁打火现象，设计了多重实用保护措施。DHEP系列电源能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏，并且能连续稳定工作。
　　4.可选择近地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口。
　　
　　主要技术参数
　　1.输入电压：AC380V／220VAC 50Hz
　　2.工作效率：≥90％
　　3.输出电压：0-10KV 连续可调
　　4.输出电流：0-1A连续可调
　　5.输出纹波：≤0.1％）
　　6.控制：≤1％
　　
　　7.控制模式：恒流／恒压／恒功率可选
　　8.外部接口：PLC模拟信号／RS485可选
　　9.缘电阻：≥200MΩ
　　10.缘耐压：≥1500V／1分钟
　　11.环境温度：0～50℃
　　12、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。
　　（可根据客户需求定做）