潘宁规（真空计）
成都道和电工研究所研发的真空潘宁规提供了的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴溅射镀膜工艺上。
特点：
＞测量范围广：5 X 10-7～1 Pa
＞全金属冷阴陶瓷传感器
＞新型几何电提供了好的点火性能
＞降低等离子点火高电压和钛阴板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
＞阳环和钛阴可清洗，更换容易
＞小磁场强度测量
＞LED指示灯电源和等离子点火
＞对数模拟输出信号
＞Fieldbus总线接口，集成到真空系统的网络通信
成都道和电工研究所研发的真空潘宁规提供了的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴溅射镀膜工艺上。
特点：
＞测量范围广：5 X 10-7～1 Pa
＞全金属冷阴陶瓷传感器
＞新型几何电提供了好的点火性能
＞降低等离子点火高电压和钛阴板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
＞阳环和钛阴可清洗，更换容易
＞小磁场强度测量
＞LED指示灯电源和等离子点火
＞对数模拟输出信号
＞Fieldbus总线接口，集成到真空系统的网络通信
