EF-4030A
量测范围
00mm*300mm*150mm
机身材质00级花岗岩
稳定的结构,几乎没有内应力造成型变问题
工作台材质
控制系统台达
A2伺服电机
光学尺0.5μ方波全差分信号
光学系统
1:
明暗场工具显微镜
大倍率
较小面积的检视划伤用及检视离子用
光学系统
2:
明暗场变焦显微镜
暗场技术
较大面积的检视划伤用
照明系统
1:
同轴光与暗场光
检视ITO玻璃及检视离子用
照明系统
2:
同轴光与之暗场光
检视ITO玻璃
CCD摄像系统
3:
大范围可调动参数之相机
检视ITO玻璃
量测(3+5L/1 000mm)μ