此仪器有以下特点：
1.晶元光罩技术：
测量不受机械误差影响；
不受机件老化及磨损影响；
平面座标测量；
不需光栅尺；
不需编码器；
无阿贝误差；
X，Y平面座标≤5μm；
不受环境温度阶梯变化影响；
2.非气浮设备，无空压问题。
1.晶元光罩技术：
测量不受机械误差影响；
不受机件老化及磨损影响；
平面座标测量；
不需光栅尺；
不需编码器；
无阿贝误差；
X，Y平面座标≤5μm；
不受环境温度阶梯变化影响；
2.非气浮设备，无空压问题。
其他说明
| 型號 | GM-7060A | |
| 測量範圍(X*Y*Z) | 700*600*100mm | |
| 工作行程 | ||
| 影像攝取系統 | sony晶片高解析彩色CCD | |
| 測量理論 | 晶元光罩絕對座標系統 | |
| 軸向 | 5um | |
| 平面座標 | &plun;2.5µm ,&plun;4µm,&plun;5µm,&plun;6µm,&plun;7.5µm可選) | |
| 光源系統 | 上光LED光源 | |
| LED底光源 | ||
| 光學放大倍率 | 0.65X-4.5X | |
| 影像放大倍率 | 30X-225X | |
| 儀器結構 | 00級花崗岩 | |
| 工作臺結構 | 00級花崗岩 | |
| 儀器重量: | 950KG(包括機架) | |
| 工作臺承重: | 3-5KG均布 | |
| 軟體配置 | 標準 | NEPTUNE EF8000 |
| 作業系統 | 正版XP系統 | |
| 電源 | 220V 50&plun;5HZ | |
| 功率 | 1KV | |
| 溫度範圍 | 20&plun;5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m | |
| 濕度 | 40%-70% | |
| 震動 | 〈30HZ | |
|
電腦配置 (定期更新) |
主板:華碩P5KPL-SE主板 | |
| CPU:E2200雙核 | ||
| 記憶體:1G | ||
| 硬碟:160G | ||
