项目 / 型式 | SURFCOM C5 Te-C | SURFCOM C5 Te-S | |
量测范围 | Z轴（纵方向） | 1000μm | |
X轴（横方向） | 200mm | ||
移动范围 | Z轴（上下） | 500mm (分辨率：0.1μm) | |
X轴（驱动部） | 200mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y轴（前后） | 800mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y轴（测头驱动部） | 30mm (分辨率：0.1μm) | ||
旋转角度 (测头) | 0°、90°、180°、270° | － | |
驱动部真直度 | X轴：0.5μm/200mm、Y轴：0.5μm/30mm | ||
参数 | Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq, TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2, Rδc,H,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,,SR,SAR | ||
显示纵倍率 | 50～500K倍 | ||
显示横倍率 | 0.1～20K倍 | ||
驱动速度 | 上下速度(Z轴) | Max 100mm/s | |
测量速度(X轴) | 0.03～3mm/s（粗度量测时）、0.03~20mm/s（形状量测时） | ||
移动速度(X轴) | Max 100mm/s | ||
移动速度(Y轴) | Max 100mm/s | ||
测针 | 半径 | 0.75mN | 10mN |
测定力 | 2μmR | 5μmR | |
材质 | 钻石材质 | ||
其它 | 电源 | 单相AC100~230V±10﹪、50/60Hz | |
消费电力 | 1000VA | ||
重量 | 2000kg | 1700kg | |
