技术参数:
1.标准运行时间(在10-9的范围内测试):4秒钟内,标准测试腔(无需氮气吹扫)
2.测量范围:2.10-11to1.10-1mbar.l/s*
3.一到两台粗抽泵:25m3/h(15cfm)or 50 m3/h(30cfm)
4.前级泵:20m3/h(12cfm)
5.高真空泵:200 1/s复合分子泵pump
6.氦气抽速:4.4 l/s
7.功率消耗:2.3kVA
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