1、特点及主要应用领域
质量流量控制器（M Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（M Flow Meter缩写为MFM）,用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆具有高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：
半导体制造行业的气体流量控制；
分析仪器设备的气体计量与控制；
各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；
特种材料表面处理装置与燃烧控制；
混气配气系统和泄露探测系统等。
2、S49系列质量流量控制器和质量流量计型号
S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。
其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。
S49 31A/MT 系列为质量流量计。
质量流量计用于气体质量流量测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。
执行Q/CYHMT001-2011企业标准
3、 主要技术指标
质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）；
标准状态L/min （升/分钟）（SLM行业标准）。
标准状态为：温度----0℃；
气压----101325Pa
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
编号 | 项目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量规格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
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3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
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4 | 准确度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) | |
5 | 线性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重复 | ±0.2%F.S | |
7 | 响应时间 | (3～4)s | |
8 | 工作压差范围 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作环境温度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不锈钢316L | |
12 | 标准密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 输入输出信号 | 0V～＋5.00V (输入阻≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) | |
16 | 供电电源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
4、工作原理
图一 热式质量流量控制器的工作原理
质量流量控制器由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
与之配套的MT-50 系列流量显示仪备有±15V直流电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关，调等。控制器设定输入、流量输出信号均为电压形式，满量程为5V。质量流量控制器与MT-50 流量显示仪连接后的工作原理如图1 所示。
控制器一般与MT-50，MT-51 或与之相兼容的流量显示仪连接。
如与MT-51 数字式流量显示仪连接，则构成数字式流量显示控制。该数字式流量显示仪提供RS-232C接口，或RS-485 接口，Modbus协议，无需附加A/D,D/A 转换卡，而实现与计算机网络电气连接、以及与组态软件的连接。
如S49 31/MT 流量控制器直接与计算机连接,则需要用户自行提供电源和A/D,D/A 转换卡等。
控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户提供的外部0V～+5V 电压控制流量。
在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到，以便气路清洗，或临时作为流量计使用；当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量。（参考流量显示仪的使用说明书）
清洗时，实际流量过满量程时，流量显示不准确，还可能出现流量显示反而减小的现象，这是由热式质量流量计的特性决定，属于正常现象。
不推荐长时间置“清洗”位，将阀门开到，而利用流量控制器长期做流量计或开启阀使用。此时电磁阀、线路等将会流过很大的电流，因而加速其热老化损坏。
5.安装和接线
5.1 S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸如图二所示
图二 S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸
5.2 入口和出口气路接头
可以根据用户的不同需求，选用两种类型：
1. 双卡套（Swagelok）:a.Φ3mm～Φ10mm; b. 1/4″;c.或其他。
2. VCR: a. 1/4″;b. 3/8″.
连接方法如图三，图四所示:
图三 双卡套接头的连接方法
图四 VCR 接头的连接方法
质量流量控制器与气路的连接，可以根据不同的要求，选用不同的管件，如金属管，塑料管等等。 S49 31/MT 系列质量流量计和流量控制器的缺省连接形式为双卡套，接管尺寸为Φ6。
