1. 特点及应用领域
气体质量流量控制器（流量计）（M gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
2．S49系列质量流量控制器(流量计)型号
本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
质量流量计主要测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
型式批准证书:2011F215-11
执行Q/CYHMT001-2011企业标准
许可证编号：京制号
3．主要技术指标
质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min (毫升/分钟) (SCCM行业标准)
标准状态L/min （升/分钟） (SLM行业标准)
标准状态规定为:温度 --- 0℃
气压 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示满量程值
表1 S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 | 项目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量规格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | ||
3 | 调节阀静止位置 | 常闭 | ||
4 | 准确度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 线性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重复 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 响应时间 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工作压差范围 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐压 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作环境温度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不锈钢316L | ||
12 | 标准密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
15 | 输入输出信号 | 0 V ～ +5.00 V (输入阻大于100K, 输出电流不大于3mA) | ||
16 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
