一、用途：该设备用于器件真空除气、退火及钎焊。
二、技术指标：
1.系统空载限真空度≤2×10-4Pa，（冷态）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入10-2Pa；
3.连续工作温度：1400℃（持续时间10小时以上）；温度均匀性&plun;5℃，控温：&plun;2℃；
4.炉膛空间≥＆Oslash；300×600m；均温区≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科仪复合分子泵作为主抽气系统，抽速：1200L/S，前级泵采用8升/秒机械泵；
6.加热方式采用三区加热、测温控温方式，PID智能温控仪程序控温；采用低电压大电流加热电源，电压低于45V.
三、系统组成：
本设备主要由真空室系统、真空抽气及测量系统、加热及控温系统、电器控制系统、充气系统、辅助系统等几部分组成。
二、技术指标：
1.系统空载限真空度≤2×10-4Pa，（冷态）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入10-2Pa；
3.连续工作温度：1400℃（持续时间10小时以上）；温度均匀性&plun;5℃，控温：&plun;2℃；
4.炉膛空间≥＆Oslash；300×600m；均温区≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科仪复合分子泵作为主抽气系统，抽速：1200L/S，前级泵采用8升/秒机械泵；
6.加热方式采用三区加热、测温控温方式，PID智能温控仪程序控温；采用低电压大电流加热电源，电压低于45V.
三、系统组成：
本设备主要由真空室系统、真空抽气及测量系统、加热及控温系统、电器控制系统、充气系统、辅助系统等几部分组成。
