一、主要用途：保密。
二、技术指标：
1.谱仪真空3×10-a（探测器位置处），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空机组由甲方自行购置，乙方设计，系统气阻尽量小）；
2.滤片室、平面镜室、探测器安装组件与瞄准系统整体轴向&plun;4 mm的平移调节与&plun;1°的角度调节，角度调节0.01°；
3.瞄准系统靶点瞄准不确定度不大于&plun;1mm，用两个Φ2mm的小孔表示谱仪中心轴线，为两小孔的距离不小于1000mm，与谱仪轴线的同轴度Φ0.01mm.
三、系统组成：
真空隔断装置、调节机构、主真空腔体等组成。
二、技术指标：
1.谱仪真空3×10-a（探测器位置处），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空机组由甲方自行购置，乙方设计，系统气阻尽量小）；
2.滤片室、平面镜室、探测器安装组件与瞄准系统整体轴向&plun;4 mm的平移调节与&plun;1°的角度调节，角度调节0.01°；
3.瞄准系统靶点瞄准不确定度不大于&plun;1mm，用两个Φ2mm的小孔表示谱仪中心轴线，为两小孔的距离不小于1000mm，与谱仪轴线的同轴度Φ0.01mm.
三、系统组成：
真空隔断装置、调节机构、主真空腔体等组成。
