技术数据：
尺寸重量：长（635mm）×宽（660mm）×高（1350mm），300KG
输入电源：220V＋／-10％，50～60Hz，0.5A
输入气源：0.5MPa，20L／min洁净气源
扫描方式：二次θ扫瞄
分选跨度：10"～99"可任意设置
小读数：1"
晶片尺寸要求：X方向6～40mm，Z方向9～40mm.
样本数：1～300可任意设置
δ：1.0～9.0可任意设置
光路调整方式：可控光轨调整装置
输出方式：8英吋TFT触摸屏，CF卡，PIBRIDGE打印接口
测量模式
提供2°与35°统计方式选择
抽样测试模式
提供单次测量模式
提供静态测试模式
报警功能
标准片校正不规范报警
样本数设定数值报警
统计功能
提供样本数据列表
提供三种数据处理模型
动态中心值指示
动态标准偏差值指示
CPK制程能力指数实时计算
尺寸重量：长（635mm）×宽（660mm）×高（1350mm），300KG
输入电源：220V＋／-10％，50～60Hz，0.5A
输入气源：0.5MPa，20L／min洁净气源
扫描方式：二次θ扫瞄
分选跨度：10"～99"可任意设置
小读数：1"
晶片尺寸要求：X方向6～40mm，Z方向9～40mm.
样本数：1～300可任意设置
δ：1.0～9.0可任意设置
光路调整方式：可控光轨调整装置
输出方式：8英吋TFT触摸屏，CF卡，PIBRIDGE打印接口
测量模式
提供2°与35°统计方式选择
抽样测试模式
提供单次测量模式
提供静态测试模式
报警功能
标准片校正不规范报警
样本数设定数值报警
统计功能
提供样本数据列表
提供三种数据处理模型
动态中心值指示
动态标准偏差值指示
CPK制程能力指数实时计算
