功能:主要用于除去电镜样品及样品杆上的污染,碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。适用于场发射扫描电镜和场发射电镜。
外型尺寸:W 345mm,H 220 mm,D420 mm
反应室尺寸:Ø80 mm,L270 mm
气体供应:流量控制型
射频发生器:40kHz/100 W
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m³/h)
控制方式:PCCE控制
附件:TEM 舱门
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