Femto PCCE 触摸屏
适用制程研发,清洁,活化,蚀刻
外型尺寸:W 562 mm,H 211 mm,D 420 mm
反应室尺寸:Ø100 mm,L 280 mm
气体供应:流量控制型;双气体通道
射频发生器:40kHz/100 W,可调变输出功率
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m3/h)
控制方式:电脑控制
咨询电话SERVICE LINE
86-400-6993936
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