1.触摸屏操作，多组程序设定，可照射多片，一键式完成全自动操作。
2.台式抽屉式结构方便取放WAFER，操作。
3.适用于3inch-12inch的wafer.
4.采用光源，使用寿命长，性高，热量小，功耗低。
2.台式抽屉式结构方便取放WAFER，操作。
3.适用于3inch-12inch的wafer.
4.采用光源，使用寿命长，性高，热量小，功耗低。
