可清洁气体质量流量计（830/840系列）

　　性能规格
　　：
　　&plun;1％满度，在15ºC到25ºC，及10到60psia（0.7到4bara）范围内；&plun;2％满度，在0ºC到50ºC，及5到150psia（0.3到10bara）范围内；在温度和压力下，为&plun;1％满度，（专门标定）。
　　对于840系列产品，上述准确度分别为1.5％、&plun;3％和&plun;1.5％。
　　如仪表垂直安装，见下表：
　　工作压力
　　入口压力偏差 50psig 100psig 150psig
　　&plun;1psig&plun;1%满度&plun;1％满度&plun;1％满度
　　&plun;5psig&plun;2.5％满度&plun;3％满度&plun;3.5％满度
　　&plun;10psig&plun;4％满度&plun;5％满度&plun;6％满度
　　
　　重复性：
　　&plun;0.15％满度。
　　&plun;0.5％满度840（NPT）。
　　温度系数：
　　0.027％满度每ºF（0.05%满度每ºC），或更好。
　　压力系数：
　　0.01％满度每psi（0.15%满度每bar），或更好。
　　响应时间（1）：
　　830（）……300毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为2秒到设定点的&plun;2％。
　　840（低、中流量）……300毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为2秒到设定点的&plun;2％。
　　840（高流量）……600毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为4秒到设定点的&plun;2％。
　　840（NPT）……800毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为4秒到设定点的&plun;5％。
　　
　　注：（1）840系列低、中、高流量流体，可选1.5秒时间常数，如选其他时间常数，需订购。
　　
　　操作规格
　　气体：
　　清洁气体；订货时具体指出。
　　质量流量：
　　0~10sccm到0~5600slpm；规定的流量是760毫米汞柱、21摄氏度（70华氏度）条件下的氮气相应流量；也可提供以其它单位（即：scfh或nm3/hr）表示的流量范围。
　　气体压力：
　　1000psig（68.9barg），低流量流体；
　　500psig（34barg），30psig（arg）。
　　气体＆环境温度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50℃）；要求较高温度，订货时需指出。
　　渗漏功能：
　　为5×10-9ATM CC/sec（氦气）。
　　
　　物理规格
　　材料：
　　830（）……316不锈钢，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡胶和4079Kal-Rez；需用其他介质，订货时指出。
　　840（低、中、高）……316不锈钢，430F不锈钢，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）和阀门插头；如订货时指出，也可提供氯丁橡胶，4079Kal-Rez和其他弹性体；提供PFA Teflon阀门插头。
　　840（NPT）……316不锈钢，Teflon阀座，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡胶和4079Kal-Rez；需其他弹性体，订货时应指出控制阀。