气体质量流量调节仪（810）

　　性能规格
　　：
　　&plun;1.5％满度，在60ºF到80ºF（15ºC到25ºC）及5到60psia（0.3到4bara）范围内。
　　如仪表竖直安装，见下表：
　　工作压力
　　入口压力偏差2 50psig 100psig 150psig
　　&plun;1psig &plun;1.5%满度 &plun;1.5%满度 &plun;1.5%满度
　　&plun;5psig &plun;3.8%满度 &plun;4.5%满度 &plun;5.3%满度
　　&plun;10psig &plun;6%满度 &plun;7.5%满度 &plun;9%满度
　　注：（1）不得过150psig.
　　（2）入口压力与标定压力差，不过&plun;10psig.
　　重复性：
　　&plun;0.25％满度。
　　温度系数：
　　0.08％满度每ºF（0.15％满度每ºC），或更好。
　　压力系数：
　　0.01％满度每psi（0.15％满度每bar），或更好。
　　
　　响应时间：
　　时间常数800毫秒；6秒到终值的&plun;2％以内（满度的25％到100％）。
　　
　　操作规格
　　气体：
　　大多数气体（即：空气、氮气、二氧化碳、氩气、甲烷、氢气、氦气）；检查与材质的兼容性；订货时具体指出。
　　质量流量：
　　0〜10sccm到0〜50slpm；指定的流量范围是76厘米汞柱、21ºC（70ºF）下的氮气流量范围；用其他单位表示的流量范围也可提供（即：scfh或nm3/hr）。
　　气体压力：
　　150psig（10barg）；
　　20psig（1.4barg）。
　　差压要求：
　　15到50psi（1.0到3.4bar）。
　　气体＆环境温度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50ºC）。
　　渗漏功能：
　　为1×10-4ATM CC/sec（氦气）。
　　电源要求：
　　0到15slm：15VDC&plun;10%，200mA.
　　0到50slm：24VDC&plun;10%，300mA.
　　控制范围：
　　校正流量满度的2-100％。
　　输出信号：
　　线性0-5VDC，2000＆＃8486；小回路电阻；
　　线性0-10VDC，2000＆＃8486；小回路电阻；
　　线性4-20mA，1000＆＃8486；回路电阻，（24VDC电源）。
　　500＆＃8486；回路电阻（15VDC电源）。
　　控制信号：
　　现场……电位计。
　　远程……0-5VDC或4-20mA.
　　控制：
　　现场设定点电位计
　　电位计
　　断电关闭阀门
　　显示：
　　数字液晶显示。
　　
　　物理规格
　　材质：
　　10％玻璃填充的Nylon 6/6；316不锈钢；430F不锈钢；镀镍；“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）。