DIENER 等离子清洗机
Femto PCCE 触摸屏
适用制程研发,清洁,活化,蚀刻
外型尺寸:W 562 m,H 211 m,D 420 m
反应室尺寸:Ø100 m,L 280 m
气体供应:流量控制型;双气体通道
射频发生器:40kHz/100 W,可调变输出功率
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m3/h)
控制方式:电脑控制
苏州和谐电子技术有限公司
咨询电话SERVICE LINE
86-512-65163986
扫一扫
进入手机店铺