适用领域：
氟油检漏设备是与氦质谱检漏仪配套使用的，针对半导体、电子元器件进行密封性、性检漏的设备，能完成G548-96标准和GI128A-97标准中，对半导体器件件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。
结构组成：抽真空系统、加压系统、氟油检漏系统。
技术指标：
真空度≤100PA
充氦压力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）温度：125&plun;5℃
保压时间：1～10h
加压系统可根据被检元器件尺寸设计。
产品规格：主要分为手动、半自动、全自动等。
氟油检漏设备是与氦质谱检漏仪配套使用的，针对半导体、电子元器件进行密封性、性检漏的设备，能完成G548-96标准和GI128A-97标准中，对半导体器件件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。
结构组成：抽真空系统、加压系统、氟油检漏系统。
技术指标：
真空度≤100PA
充氦压力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）温度：125&plun;5℃
保压时间：1～10h
加压系统可根据被检元器件尺寸设计。
产品规格：主要分为手动、半自动、全自动等。