莱宝分子泵

　　C09涡轮分子泵系列　
　　莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升／秒，限真空度为＜10-10mbar。
　　其主要特点为：
　　◆陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。
　　◆允许任意角度安装。
　　◆有水冷和风冷两种选择。
　　◆对H2的压缩比大。
　　◆无油真空泵，可用来产生洁净的真空。
　　
　　TW系列复合分子泵
　　抽速：70～1600升／秒　
　　限真空度：10－9mbar　
　　允许前级压强：6～14mbar　
　　
　　主要特点有：　
　　◆转子叶片为成型，消除了叶片应力，使得前级耐压14mbar，并能短暂的大气冲击。　
　　◆的风冷系统，使其在大多数工作条件下无需冷水。
　　◆变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
　　◆模块化的设计为用户提供了多种选择。　
　　◆结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。　
　　◆可以任意角度安装。　
　　◆螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。　
　　◆轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
　　◆无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和真空。
　　◆可在轴承需要维护时提前预警。　
　　◆通过通讯接口可以与掌上电脑，PC或PLC联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。　
　　◆高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。　
　　
　　新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
　　MAG　1500C／，MAG2000C／，MAG2200C／，MAG　2800C／，MAG　3200C／
　　抽速：1500l／s～3200l／s　
　　●五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、气流冲击。
　　●转子采用度铝合金，铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可120℃。　
　　●转子及定片均采用莱宝技术的　KAPLAR　涂层　
　　●较镀镍的转子具有更强的腐蚀性能，适用于抽除腐蚀的工艺气体；　
　　●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
　　●叶片镀　KAPLAR　的转子较镀镍的转子重量更轻。
　　●保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（＞600次），无需更换保护轴承。
　
　　●高真空端连接采用ISO-F，连接螺栓强度高，充分保障。
　　●智能化电源，无需UPS。　
　　●带拖动级，前级耐压在2mbar以上。　
　　●分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。　
　　●的数字控制技术
　　●运行速度、温度可设置；　
　　●运行数据记录存储，提供多达180条运行信息；　
　　●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短　
　　●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；　
　　●在气流长时间（2分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。　
　　●控制器与泵无识别性，可互换。　
　　●免维护。
　
　　典型应用：
　　适用于　
　　●半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入　
　　●科研领域　
　　●镀膜　
　　另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的　TURBOVAC340M，MAG400和MAG　1000。