技术指标：
>多镀层，1～4层
>测试：0.01 um
>多次测量重复性误差<0.1％
>元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
>测量时间：10-60秒
>Si-PIN探测器，能量分辨率为149电子伏特
>微焦X射线管50KV/1mA，钨靶，焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时
>7个准直器及6个滤光片自动切换：
客户可选准直器尺寸或定制尺寸准直器。
(0.1, 0.2, 0.4, 0.5, 1.0,mm 及用于有害物质分析的3个Al、3个Mo)
初级滤光片：Al滤光片，自动切换
>XYZ三维移动平台
软件程序控制步进式电机驱动X-Y轴移动大样品平台。
激光定位、简易荷载负载量为5公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
>高清CCD摄像头，监控位置
- 观察范围：3mm x 3mm - 放大倍数：40X
- 照明方法：上照式 - 软件控制取得高真图像
显示屏上显示样品锁定、简易荷载、激光定位及拍照功能
>多变量非线性去卷积曲线拟合
>FP/MLSQ分析
> 平台尺寸 700x580x25 mm
>平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
>多镀层，1～4层
>测试：0.01 um
>多次测量重复性误差<0.1％
>元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
>测量时间：10-60秒
>Si-PIN探测器，能量分辨率为149电子伏特
>微焦X射线管50KV/1mA，钨靶，焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时
>7个准直器及6个滤光片自动切换：
客户可选准直器尺寸或定制尺寸准直器。
(0.1, 0.2, 0.4, 0.5, 1.0,mm 及用于有害物质分析的3个Al、3个Mo)
初级滤光片：Al滤光片，自动切换
>XYZ三维移动平台
软件程序控制步进式电机驱动X-Y轴移动大样品平台。
激光定位、简易荷载负载量为5公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
>高清CCD摄像头，监控位置
- 观察范围：3mm x 3mm - 放大倍数：40X
- 照明方法：上照式 - 软件控制取得高真图像
显示屏上显示样品锁定、简易荷载、激光定位及拍照功能
>多变量非线性去卷积曲线拟合
>FP/MLSQ分析
> 平台尺寸 700x580x25 mm
>平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
