应用领域:
金属电镀镀层分析领域技术指标：
>多镀层，1～6层>测试：0.01 um>多次测量重复性误差<0.1％>元素分析范围从铝(Al)到铀(U)>测量时间：10-60秒>Si-PIN探测器，能量分辨率为149电子伏特>微焦X射线管50KV/1mA，钨靶，焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时>7个准直器及6个滤光片自动切换> XYZ三维移动平台，荷载为5公斤> 高清CCD摄像头，监控位置>多变量非线性去卷积曲线拟合>FP/MLSQ分析>平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm图谱界面：
>软件支持无标样分析>分析平台和样品腔>集成了镀层界面和合金成分分析界面>采用的多种光谱拟合分析处理技术>分析可0.01um分析结果
>直接打印分析
>可转换为PDF，EXCEL和HTML格式
