应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。
技术特点:
本电源采用它激振荡,晶体稳频,频率13.56KHz,采用金属陶瓷四管功率输出,输出功率连续可调,具有相应的自匹配器,自动匹配网络使输出功率加到反应室,匹配范围大,具有反射功率(Pr)保护电路,具备过载短路的能力,并能方便的读出入射功率、反射功率。
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