ZP系列射频电源自动匹配装置：适用于采用高频单激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。
本产品的使用价值：
1、稳定生产工艺环境、产品质量。如对于太阳能电池生产等离子刻蚀工艺，可以过刻蚀及欠刻蚀：刻蚀的均匀性，提
高电池转换效率0.1％；过刻蚀硅片面积因而单位面积的功率1％；减少返工，降低硅片的破损损耗，硅片使
用率1％；
2、减少射频反射对周围设备仪表的影响，仪表的准确度；
3、减少射频电源反射对环境造成的不利影响，利于、实现对企业的要求；
4、减少射频反射对人身的伤害！
主要技术参数：
网络类型：L型网络
射频功率：1KW
网络输入阻：标准50Ω
负载阻：调谐范围：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
工作频率：13.56MHz
手动／自动：可切换
射频电源输入接口：SL16-50KF
射频电源输出接口：L27-50KF
交流输入电源：220VAC&plun;15％、50-60Hz、0.5A
本产品的使用价值：
1、稳定生产工艺环境、产品质量。如对于太阳能电池生产等离子刻蚀工艺，可以过刻蚀及欠刻蚀：刻蚀的均匀性，提
高电池转换效率0.1％；过刻蚀硅片面积因而单位面积的功率1％；减少返工，降低硅片的破损损耗，硅片使
用率1％；
2、减少射频反射对周围设备仪表的影响，仪表的准确度；
3、减少射频电源反射对环境造成的不利影响，利于、实现对企业的要求；
4、减少射频反射对人身的伤害！
主要技术参数：
网络类型：L型网络
射频功率：1KW
网络输入阻：标准50Ω
负载阻：调谐范围：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
工作频率：13.56MHz
手动／自动：可切换
射频电源输入接口：SL16-50KF
射频电源输出接口：L27-50KF
交流输入电源：220VAC&plun;15％、50-60Hz、0.5A
