▲TDCR-200型膜层控制仪采用全中文人机操作界面,易于使用。配备256x128大型图形点阵LCD,低功耗LED背光,整屏显示内容多,并支持滚屏,用户编程和操作方便快捷。
▲TDCR-200膜层控制仪具有5个可编程工艺膜系,每个工艺膜系多能设定99层,共计495个膜层。包含一个267种材料的材料参数库,其中已定义的材料为257种,未定义的材料10种,可由用户自行设定。
▲TDCR-200膜层控制仪提供给用户厚度、速度、功率等实时数据,以便用户可以对实时数据进行分析,并提供速度曲线和功率曲线,通过观察过程曲线了解镀膜情况,方便用户找到的控制工艺。
▲TDCR-200膜层控制仪配备了RS-232工业标准通信接口,配合本公司提供的计算机控制软件,方便用户在计算机上进行膜系编程,通过计算机进行数据采集和数据分析,实现远程控制。用户也可根据本公司提供的通信协议进行二次开发,在自行设计的软件中集成测量和控制功能,可方便地实现系统集成。
▲在镀膜过程中,当晶片无效时,TDCR-200膜层控制仪能自动设定中断,并启动切换程序,控制双探头系统,待晶片切换成功后,继续恢复镀膜,以镀膜工艺连续性。