X荧光镀层厚度测量仪 (CMI-960)

　　X-Strata　960　X荧光射线测厚仪，适用用于电子元器件、半导体、PCB、汽车部件、功能性电镀、装饰件、连接器多个行业，可快速测定各种材料构成的多层镀层厚度。长寿命100瓦微焦点X射线管（其他测厚仪为50瓦），与CMI900相比，相同测量时间可以30％分析，或者相同的要求可以减少50％的测量时间。三种样品台可供选择：程控XYZ轴、手动XY轴、固定位置样品台。更小准直器，测量更小区域，小直径15um圆形准直器。CCD系统，可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测。自由距离测量DIM：更灵活地测量不规则样品（凹凸）。一体机工作站式设计，简化设备安装，减少占用空间。
　　
　　技术参数：
　　◆元素范围：Ti22–U92同时分析层数和元素定量：5层（4层＋基体）；多同时15种元素定量
　　◆X射线激发：100瓦（50kV-2.0mA）微焦点钨靶X射线管（可选钼靶X射线管）
　　◆X射线检测：高分辨封气（Xe）正比计数器，灵敏度高，可多装备3种二次滤光片
　　◆准直器：单准直器或多准直器系统，准直器系统多可安装4种规格的准直器，备有各种规格准直器（0.015mm-0.5mm）圆形或矩形供客户选用
　　◆数字脉冲处理器：4096通道数字多道分析器，包含自动波谱校正和PulsePileRejection功能
　　◆样品台：程控XYZ轴：300x200x230mm
　　手动XY轴：250x250mm＋230mm程控Z轴
　　固定位置样品台，高度230mm

　　◆CCD系统：1／2"CMOS-640X480VGAresolution镜头标准为15倍，可选购40倍或由软件放大X1、X2、X3、X4激光自动对焦
　　◆自由距离测量DIM：在12.7～88.9mm自由聚焦范围内可准确聚焦样品表面任意测量点，并有自动雷射聚焦功能
　　◆统计报表功能：平均值、标准偏差、相对标准偏差、值、小值、数据变动范围、量测点数、控制上线图、控制下线图、CP、CPK数据分组、X-bar／R图、直方图
　　数据储存功能统计软件允许用户自行设计报表（另可选购Excel输出功能）
　　◆电源：85-130V或者215-265V、频率47-63Hz
　　◆工作环境：10－40℃、相对湿度小于98％，无冷凝水
　　◆仪器尺寸：H744xW686xD813
　　◆重量：160公斤。